-
少子壽命：≥70us
-
電阻率：0.4-1.1Ω.cm
-
碳含量：≤0.5×1017atoms/cm3
-
氧含量：≤7.5×1017atoms/cm3
材料特性
| 項目 | 規格 | 檢測方法 |
|---|---|---|
| 生長方式 | CZ | / |
| 晶體晶向 | ＜100＞±3° | X射線衍射定向法 |
| 導電類型 | P型 | P/N型測試儀 |
| 位錯密度/cm2 | ≤500 | X射線衍射儀（ASTM F26-1987） |
| 項目 | 生長方式 | |
| 規格 | CZ | |
| 檢測方法 | / | |
| 項目 | 晶體晶向 | |
| 規格 | ＜100＞±3° | |
| 檢測方法 | X射線衍射定向法 | |
| 項目 | 導電類型 | |
| 規格 | P型 | |
| 檢測方法 | P/N型測試儀 | |
| 項目 | 位錯密度/cm2 | |
| 規格 | ≤500 | |
| 檢測方法 | X射線衍射儀（ASTM F26-1987） |
電性能
| 項目 | 規格 | 檢測方法 |
|---|---|---|
| 氧含量 | ≤7.5×1017atoms/cm3 | 傅里葉變換紅外光譜儀 |
| 碳含量 | ≤0.5×1017atoms/cm3 | 傅里葉變換紅外光譜儀 |
| 電阻率 | 0.4-1.1Ω.cm | 硅片自動檢測設備 |
| 少子壽命 | ≥70us | Sinton BCT-400 QSSPC準穩態光電導衰減法 Transient瞬態光電導衰減法 (with injection level: 1E15 cm-3) |
| 項目 | 氧含量 | |
| 規格 | ≤7.5×1017atoms/cm3 | |
| 檢測方法 | 傅里葉變換紅外光譜儀 | |
| 項目 | 碳含量 | |
| 規格 | ≤0.5×1017atoms/cm3 | |
| 檢測方法 | 傅里葉變換紅外光譜儀 | |
| 項目 | 電阻率 | |
| 規格 | 0.4-1.1Ω.cm | |
| 檢測方法 | 硅片自動檢測設備 | |
| 項目 | 少子壽命 | |
| 規格 | ≥70us | |
| 檢測方法 | Sinton BCT-400 QSSPC準穩態光電導衰減法 Transient瞬態光電導衰減法 (with injection level: 1E15 cm-3) |