材料特性
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 生長方式 | CZ |
| 晶體晶向 | ＜100＞±3° |
| 導電類型 | N型 |
| 位錯密度 | ≤500 |
| 項目 | 生長方式 | |
| 規格 | CZ | |
| 項目 | 晶體晶向 | |
| 規格 | ＜100＞±3° | |
| 項目 | 導電類型 | |
| 規格 | N型 | |
| 項目 | 位錯密度 | |
| 規格 | ≤500 | |
電性能
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 氧含量 | ≤14ppma |
| 碳含量 | ≤1ppma |
| 電阻率 | 0.3-2.1Ω.cm |
| 少子壽命 | ≥800us |
| 項目 | 氧含量 | |
| 規格 | ≤14ppma | |
| 項目 | 碳含量 | |
| 規格 | ≤1ppma | |
| 項目 | 電阻率 | |
| 規格 | 0.3-2.1Ω.cm | |
| 項目 | 少子壽命 | |
| 規格 | ≥800us | |